L-industrija tas-semikondutturi hija l-pedament tat-teknoloġija moderna tal-informazzjoni; is-sofistikazzjoni teknoloġika u l-iskala ta 'żvilupp tagħha jservu bħala indikaturi ewlenin tal-kapaċitajiet ta' innovazzjoni xjentifika ta 'nazzjon u s-saħħa nazzjonali komprensiva.
Hekk kif il-prestazzjoni ta' materjali semikondutturi tal-ewwel- u tat-tieni-ġenerazzjoni-bħas-silikon u l-ġermanju-joqrob lejn il-limiti teoretiċi, huma jitħabtu biex jissodisfaw it-talbiet f'ambjenti operattivi estremi kkaratterizzati minn temperaturi għoljin, frekwenzi għoljin, livelli ta' qawwa għolja, u espożizzjoni għar-radjazzjoni. Konsegwentement, materjali semikondutturi ġodda-b'mod partikolari karbur tas-silikon u djamant-ġabru attenzjoni mifruxa minħabba l-proprjetajiet elettriċi eċċezzjonali tagħhom.
Substrati semikondutturi jservu bħala l-pedament għall-manifattura ta' tagħmir mikroelettroniku u optoelettroniku ta' prestazzjoni għolja-. Il-kwalità tar-reġjuni tal-wiċċ u ta 'taħt il-wiċċ tagħhom tinfluwenza b'mod kritiku l-prestazzjoni tal-apparat; Il-kisba ta' riżultati superjuri teħtieġ iż-żamma ta' preċiżjoni għolja tal-wiċċ-forma u ħruxija tal-wiċċ sub-nanometru filwaqt li fl-istess ħin tiġi evitata ħsara fil-wiċċ u taħt il-wiċċ.
L-ipproċessar tas-sottostrat tas-semikondutturi jinvolvi primarjament it-tqattigħ, il-lapping u l-illustrar, filwaqt li l-ipproċessar tal-wejfer tas-semikondutturi jiffoka prinċipalment fuq it-tħin (għal traqqiq) u t-tqattigħ.
Il-ktieb *Prinċipji u Teknoloġiji Ewlenin tal-Ipproċessar tal-Abrażiv għal Ultra-Sustrati Semikondutturi Iebsin* jintroduċi t-teknoloġija tal-ipproċessar tal-brix fiss-. Billi twaħħal ħbub li joborxu fuq sottostrat ta 'għodda, dan il-metodu jippermetti kontroll preċiż fuq l-interface tal-magni, u b'hekk itejjeb l-effiċjenza tal-ipproċessar u jtejjeb il-kwalità tal-wiċċ.
Billi tirregola b'mod preċiż il-ħbub li joborxu fuq is-saff tal-wiċċ tal-għodda-speċifikament billi tikkontrolla l-fond tal-qatgħa biex tallinja mat-tieqa kritika tat-tranżizzjoni fraġli-għa-duttili f'materjali semikondutturi-uċuħ ta' sottostrat ta' kwalità-għoli jistgħu jinkisbu. L-iżvilupp ta' għodod ta' pproċessar fissi-abrasivi jirrappreżenta avvanz fil-prinċipji, metodi, u teknoloġiji għall-ipproċessar ta' substrati semikondutturi ultra-iebsin; barra minn hekk, għandu rwol ċentrali fl-istabbiliment u r-raffinar tal-qafas teoretiku u l-prattiki tekniċi għall-ipproċessar ta'-effiċjenza għolja,-kwalità għolja ta' dawn is-sottostrati. Ikklikkja l-immaġni biex tixtri
Introduzzjoni Ktieb
*Prinċipji u Teknoloġiji Ewlenin tal-Ipproċessar tal-Abrasive għal Ultra-Sustrati Semikondutturi Iebsin* jiġbru fil-qosor sistematikament il-kisbiet tar-riċerka tal-awturi u t-tim tagħhom matul l-aħħar għaxar snin rigward il-prinċipji u t-teknoloġiji ewlenin tal-ipproċessar tal-brix għal sottostrati semikondutturi ultra-iebsin. Il-ktieb jiddeskrivi t-tipi, il-proprjetajiet, l-applikazzjonijiet, u l-prospetti ta’ żvilupp ta’ dawn il-materjali sottostrat u jipprovdi-spjegazzjoni fil-fond tat-teknoloġiji tal-ipproċessar-inklużi l-flussi tax-xogħol tal-proċess, il-proprjetajiet mekkaniċi, il-mekkaniżmi għat-tneħħija tal-materjal, u t-tekniki komuni tal-ipproċessar. Huwa jiffoka fuq il-prinċipji tal-ipproċessar li joborxu u l-fabbrikazzjoni u l-applikazzjoni ta 'għodod li joborxu, li jkopru t-teknoloġiji tat-tqattigħ, tat-tħin, tal-illustrar u tat-tqattigħ, kif ukoll tekniki ta' kejl u karatterizzazzjoni mhux-distruttivi. Barra minn hekk, joffri ħarsa lejn ix-xejriet futuri ta 'żvilupp ta' dawn it-teknoloġiji tal-ipproċessar. It-teknoloġiji l-ġodda ppreżentati fil-ktieb huma fattibbli ħafna u wrew riżultati prattiċi eċċellenti.
*Prinċipji u Teknoloġiji Ewlenin tal-Ipproċessar tal-Abrasive għal Ultra-Sustrati Semikondutturi Ibsin* huma mmirati ħafna, prattiċi, u istruttivi. Iservi bħala referenza siewja għall-professjonisti tal-inġinerija u tekniċi f'oqsma bħall-inġinerija mekkanika, manifattura intelliġenti u ċirkwiti integrati, u jista 'jintuża wkoll bħala ktieb ta' test jew ktieb ta 'referenza għal studenti li għadhom ma ggradwawx u gradwati li jispeċjalizzaw fl-inġinerija mekkanika, manifattura intelliġenti, xjenza u teknoloġija tal-istrumenti, u ċirkwiti integrati.
